- Заглавие на русском языке
- Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination
- Дата введения в действие
- 01.01.1986
- Вид стандарта
- 4 - Стандарты на методы контроля
- Вид требований
- Документ имеет отметку *
- Документ внесен организацией СНГ
- Минцветмет СССР
- Управление Ростехрегулирования
- 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов
- Разработчик МНД
- Российская Федерация
- Межгосударственный ТК
- 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция
- Дата последнего издания
- 21.01.1985
- Количество страниц (оригинала)
- 19
- Организация - Разработчик
- Минцветмет СССР
- Статус
- Действует
- Ограничение срока действия снято
- Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС № 11-95)
- Номер ТК за которым закреплен документ
- 303
- Номер приказа о закреплении документа за ТК
- 217
- Дата приказа о закреплении документа за ТК
- 31.01.2023
- Аннотация (область применения)
- Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
- Ключевые слова
- кремний полупроводниковый; двуокись кремния; кварц; кремний четыреххлористый; трихлорсилан; определение примесей методом химико-атомно-эмиссионным; аппаратура; материалы; реактивы
- Термины и определения
- Раздел стандарта
